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申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
摘要：本申请提供一种光刻机及附属设备的冷却水排水装置及其使用方法，该光刻机及附属设备的冷却水排水装置包括：一水箱箱体，顶部设置有可翻转的水箱盖，底部四角设置有滚轮；一水管快接头，设置于水箱箱体的侧面；一排水管，一端连接水箱快接头，另一端连接光刻机及附属设备的机台装置排水口接头；一气源装置，该气源装置储存或产生压缩空气；以及一导气管，一端连接气源装置，另一端连接光刻机及附属设备的机台装置进气口。通过本申请实现操作简单，提高效率，同时保证光刻机及附属设备周围精密部件不被损坏的目的。
主权项：1.一种光刻机及附属设备的冷却水排水装置，其特征在于，所述排水装置包括：一水箱箱体101，顶部设置有可翻转的水箱盖107，底部四角设置有滚轮108；一水管快接头102，设置于所述水箱箱体101的侧面；一排水管103，一端连接所述水箱快接头102，另一端连接光刻机及附属设备的机台装置排水口接头109；一气源装置106，所述气源装置106储存或产生压缩空气；以及一导气管105，一端连接所述气源装置106，另一端连接光刻机及附属设备的机台装置进气口110。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 光刻机及附属设备的冷却水排水装置及其使用方法
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