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申请/专利权人：上海大学

摘要：一种柔性阵列压电传感器，柔性衬底层包括阵列区和与阵列区相邻的引出区，阵列区包含若干传感区和互连区，互连区为曲线且相邻互连区之间具有间隙；下电极的第一电极部和传感区的图形重叠，第一互连线与引出区的部分图形重叠；柔性压电层的压电阵列区与传感区的图形重叠，压电引出区与引出区的部分图形重叠；上电极的第二电极部与传感区的图形重叠，第二互连线与引出区的图形部分重叠；绝缘屏蔽层与传感区的图形重叠；封装层与柔性衬底层的图形重叠。从而，本发明通过保证传感器的阵列区对应的各层均为镂空的，且互连区均为曲线，使得传感器具有可曲面共形的特性，兼顾保证了传感器的透气性。

主权项：1.一种柔性阵列压电传感器，其特征在于，包括：柔性衬底层，所述柔性衬底层包括阵列区以及与阵列区相邻的引出区，所述阵列区包括若干呈阵列排布且相互分立的传感区、以及连接于相邻传感区之间的互连区，且相邻互连区之间具有间隙，所述互连区平行于所述柔性衬底层表面的中心轴为曲线；位于所述柔性衬底层上的下电极，所述下电极包括若干呈阵列排布且相互分立的第一电极部、以及沿第一方向连接于相邻第一电极部之间的第一互连线，所述第一电极部在所述柔性衬底层表面具有第一投影图形，所述第一投影图形与所述传感区重叠，所述第一互连线在所述柔性衬底层表面具有第二投影图形，所述第二投影图形与所述引出区部分重叠；位于下电极上的柔性压电层，所述柔性压电层包括压电阵列区以及与压电阵列区相邻的压电引出区，所述压电阵列区在所述柔性衬底层表面具有第三投影图形，所述第三投影图形与所述传感区重叠，所述压电引出区在所述柔性衬底层表面具有第四投影图形，所述第四投影图形与所述引出区部分重叠；位于所述柔性压电层上的上电极，所述上电极包括若干呈阵列排布且相互分立的第二电极部、以及沿第二方向连接于相邻第二电极部之间的第二互连线，所述第二电极部在所述柔性衬底层表面具有第五投影图形，所述第五投影图形与所述传感区重叠，所述第二互连线在所述柔性衬底层表面具有第六投影图形，所述第六投影图形与所述引出区部分重叠；位于所述上电极上的绝缘屏蔽层，所述绝缘屏蔽层在所述柔性衬底层表面具有第七投影图形，所述第七投影图形与所述传感区重叠；位于所述屏蔽层上的封装层，且所述封装层在所述柔性衬底层表面的第八投影图形与所述柔性衬底层重叠。

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