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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本申请提供的集成于超构透镜的光阑及膜系的制备方法，在基底表面制备超构透镜结构材料膜层，在所述基底的背面镀功能性膜系，在所述基底的正面涂覆光刻胶层，在所述光刻胶层上制备光刻胶掩膜及对准标记掩膜，将所述光刻胶掩膜转化为金属掩膜，在所述超构透镜结构材料膜层上制备超构透镜，在所述超构透镜的表面制备金属光阑，解决现有技术中存在的光阑与超构透镜、膜系与超构透镜之间的配合存在精度要求极高，且需要较大的空间设置光路等问题，将光阑、膜系与超构透镜集成为组合元件，从而降低超构透镜成像测试过程中的装调难度，并大大降低了整个光学系统的空间。
主权项：1.一种集成于超构透镜的光阑及膜系的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：在基底表面制备超构透镜结构材料膜层；在所述基底的背面镀功能性膜系；在所述基底的正面涂覆光刻胶层；在所述光刻胶层上制备光刻胶掩膜及对准标记掩膜；将所述光刻胶掩膜转化为金属掩膜；在所述超构透镜结构材料膜层上制备超构透镜；在所述超构透镜的表面制备金属光阑。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种集成于超构透镜的光阑及膜系的制备方法
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