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申请/专利权人：广东广纳芯科技有限公司
摘要：本发明涉及一种高频大宽带低插损高性能声表面波谐振器及制造方法。本发明的声表面波谐振器包括：高声速材料衬底层和形成于其上的单晶LGS低声速材料层共同组成的布拉格反射层，单晶42°YXLiNbO3高声速材料压电层，以及设在高声速材料压电层上且全部埋入其中的电极，其中所单晶LGS低声速材料层欧拉角为0°,90°,90°，厚度为0.1λ；高声速材料压电层的厚度为0.5λ；电极厚度180nm、宽度0.25λ、间距0.25λ、占空比0.5、沿孔径长度10λ。其中，λ是电极激发的声波波长。本发明的声表面波谐振器具有高频大带宽低插损无杂散且TCF值低的特征。
主权项：1.一种声表面波谐振器，包括：高声速材料衬底层和形成在所述高声速材料衬底层之上的LGS低声速材料层共同组成的布拉格反射层，其中所述LGS低声速材料层的材料为单晶LGS，欧拉角为（0º,90º,90º），所述LGS低声速材料层厚度为0.1λ；形成在所述LGS低声速材料层之上的单晶42°YXLiNbO3高声速材料压电层，所述高声速材料压电层的厚度为0.5λ；以及设在所述高声速材料压电层上的电极，所述电极全部埋入所述高声速材料压电层，所述电极的宽度和电极之间的间距均为0.25λ，厚度为180nm，沿孔径长度为10λ，电极指对数为1000对；其中，λ是所述电极激发的声波波长。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东广纳芯科技有限公司 一种高频大宽带低插损高性能声表面波谐振器及制造方法
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