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一种晶硅切割废料中高纯硅的回收方法 

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申请/专利权人:宁夏大学

摘要:本发明提供了一种晶硅切割废料中高纯硅的回收方法,包括在晶硅切割废料粉末中混入少量碳酸盐和粘结剂,得到晶硅切割废料粉体、碳酸盐、粘结剂的均匀混合物;混合物压制成坯体后去除粘结剂、进行SPS处理,利用碳酸盐消解晶硅切割废料SiO2包覆层;同时,碳酸盐分解形成的CO2微气泡冲击SiO2包覆层,起到加速消解的作用;提高烧结炉功率,将样品进一步熔融。冷却后,石墨坩埚上部为含有晶硅切割废料SiO2包覆层的氧化物层,石墨坩埚下部即为回收得到的高纯Si层。本发明中,CO2微气泡的冲击作用加速了晶硅切割废料SiO2包覆层的消解,可以显著提高硅的回收率。

主权项:1.一种晶硅切割废料中高纯硅的回收方法,其特征在于,包括以下步骤:S1,在晶硅切割废料粉末中混入少量碳酸盐和蒸馏水,得到晶硅切割废料粉体、碳酸盐、粘结剂的均匀混合物;S2,将晶硅切割废料粉体、碳酸盐粉体、粘结剂的混合物压制成坯体后进行真空干燥去除坯体中的粘结剂、随后在石墨坩埚中进行放电等离子烧结;S3,提高放电等离子烧结炉功率,将S2的样品熔融,石墨坩埚下部回收得到的高纯Si层。

全文数据:

权利要求:

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