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申请/专利权人：南京昀光科技有限公司
摘要：本发明公开了一种掩膜版变形检测装置和检测方法，该掩膜版变形检测装置包括第一承载台、承载移动台和供电检测单元。第一承载台包括位于第一承载台表面的检测点；第一承载台用于承载待掩膜基板；承载移动台，用于承载待测掩膜版；第一承载台的第一承载平面与承载移动台的第二承载平面平行；供电检测单元，包括第一检测端和第二检测端，第一检测端与待测掩膜版电连接，第二检测端与检测点电连接；供电检测单元用于提供供电信号至第一检测端或第二检测端，并获取第一检测端与第二检测端之间的检测信号，并根据检测信号，确定待测掩膜版的变形状态。本发明的技术方案，可以提高对待测掩膜版的变形检测可靠性。
主权项：1.一种掩膜版变形检测装置，其特征在于，包括：第一承载台，包括位于所述第一承载台表面的检测点；所述第一承载台用于承载待掩膜基板；承载移动台，用于承载待测掩膜版；所述第一承载台的第一承载平面与所述承载移动台的第二承载平面平行；供电检测单元，包括第一检测端和第二检测端，所述第一检测端与所述待测掩膜版电连接，所述第二检测端与所述检测点电连接；所述供电检测单元用于提供供电信号至所述第一检测端或所述第二检测端，并获取所述第一检测端与所述第二检测端之间的检测信号，并根据所述检测信号，确定所述待测掩膜版的变形状态。
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权利要求：
百度查询： 南京昀光科技有限公司 一种掩膜版变形检测装置和检测方法
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