龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：方志成
摘要：本发明涉及多晶硅刻蚀技术领域，具体公开了一种多晶硅刻蚀样品支架及安装组件，包括转盘和支撑架，所述转盘的顶部固定安装有联动机构，所述联动机构的外侧等间距固定安装有摆动机构，所述摆动机构的外端转动连接有硅片定位机构，所述支撑架的上端固定安装有驱动机构，所述驱动机构的底部和联动机构的上端相连接。利用伸缩气缸使滑板滑动，带动铰接件、滑杆等，从而使连接架摆动，实现硅片定位机构上下位移，快速脱离刻蚀溶液，操作便捷，在硅片蚀刻中，启动驱动电机带动传动齿轮，使传动齿环转动，带动滑动轨架及外侧机构转动，提高硅片与蚀刻溶液接触稳定性，离开溶液时能离心甩出残留液体，便于清理收集。
主权项：1.一种多晶硅刻蚀样品支架，其特征在于，包括转盘1和支撑架4，所述转盘1的顶部固定安装有联动机构3，所述联动机构3的外侧等间距固定安装有摆动机构2，所述摆动机构2的外端转动连接有硅片定位机构7，所述支撑架4的上端固定安装有驱动机构6，所述驱动机构6的底部和联动机构3的上端相连接；所述联动机构3包括滑动轨架31，所述滑动轨架31固定安装于转盘1的顶部，所述滑动轨架31的内部滑动连接有滑板32，所述滑板32的外侧等间距开设有方槽33，所述方槽33的内侧均转动连接有铰接件34，所述摆动机构2等间距固定安装于滑动轨架31的外侧中部，所述摆动机构2的内端通过铰接件34和方槽33内侧铰接，所述联动机构3的顶部和驱动机构6的底部固定连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 方志成 一种多晶硅刻蚀样品支架及安装组件
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号