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AlGaInP基LED芯片及其制备方法 

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申请/专利权人:江西兆驰半导体有限公司

摘要:本发明公开了一种AlGaInP基LED芯片及其制备方法,涉及半导体光电器件领域。其中,AlGaInP基LED芯片包括衬底,依次设于所述衬底上的键合层、透明导电层、外延层、N电极和P电极;所述外延层包括依次层叠于所述透明导电层上的P型窗口层、P型层、有源层、N型层和N型接触层;其中,N电极设于所述N型接触层上,所述外延层上设有刻蚀至所述P型窗口层的孔洞,所述P电极通过所述孔洞与所述P型窗口层连接;所述透明导电层的电阻率小于所述P型窗口层的电阻率,所述P型窗口层的厚度≤8μm。实施本发明,可提升电流分布的均匀性和光效。

主权项:1.一种AlGaInP基LED芯片,其特征在于,包括衬底,依次设于所述衬底上的键合层、透明导电层、外延层、N电极和P电极;所述外延层包括依次层叠于所述透明导电层上的P型窗口层、P型层、有源层、N型层和N型接触层;其中,N电极设于所述N型接触层上,所述外延层上设有刻蚀至所述P型窗口层的孔洞,所述P电极通过所述孔洞与所述P型窗口层连接;所述透明导电层的电阻率小于所述P型窗口层的电阻率,所述P型窗口层的厚度≤8μm。

全文数据:

权利要求:

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