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申请/专利权人：歌尔微电子股份有限公司
摘要：本发明涉及麦克风技术领域，具体而言涉及一种MEMS麦克风及电子设备。该MEMS麦克风包括线路板、外壳、MEMS芯片和双层垫片，其中线路板设有声孔，MEMS芯片连接线路板，MEMS芯片与声孔对应设置，外壳盖设于线路板并与线路板围出声腔，MEMS芯片设于声腔，双层垫片盖设于声孔，双层垫片包括第一层、第二层及贯通第一层和第二层的通孔，声孔通过通孔与声腔相连通，第一层面向声腔设置，第二层面向声孔设置，且第二层面向声孔的一侧具有粘性。根据本发明的MEMS麦克风，通过双层垫片的第二层面向声孔的一侧具有粘性，能够有效粘附通过声孔进入的异物，显著降低了异物对MEMS芯片振膜和背极的污染和损伤风险。同时，在气流通过声孔时，垫片起到了缓冲作用。
主权项：1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：线路板，所述线路板设有用于接收外界声音信号的声孔；MEMS芯片，所述MEMS芯片连接所述线路板，所述MEMS芯片与所述声孔对应设置；外壳，所述外壳盖设于所述线路板并与所述线路板围出声腔，所述MEMS芯片设于所述声腔内；双层垫片，所述双层垫片盖设于所述声孔，且所述双层垫片夹设于所述线路板和所述MEMS芯片之间，所述双层垫片包括第一层、第二层及贯通所述第一层和第二层的通孔，所述声孔通过所述通孔与所述声腔相连通，所述第一层面向所述声腔设置，所述第二层面向所述声孔设置，且所述第二层面向所述声孔的一侧具有粘性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 歌尔微电子股份有限公司 MEMS麦克风及电子设备
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