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申请/专利权人：苏州芯晟半导体科技有限公司
摘要：本发明公开一种大功率长波红外量子级联激光器及其制作方法。该激光器包括：激光器单元，包括依序层叠设置的衬底、下波导层、下光学限制层、有源层、上光学限制层和上波导层；沟槽结构，通过对激光器单元蚀刻形成，包括位于激光器单元前端腔面的沟槽以及位于沟槽之间的双沟，所述双沟和沟槽均从上波导层向衬底方向延伸且穿过有源层；填充材料，填充于所述沟槽结构中，所述填充材料包括半绝缘InP。本发明通过在激光器腔面处刻蚀沟槽，然后外延高热导率的半绝缘InP，移除腔面增益，大幅降低腔面处光功率密度，同时改善腔面处散热，从而优化长波红外量子级联激光器的腔面热特性，提升输出功率和器件可靠性。
主权项：1.一种大功率长波红外量子级联激光器，其特征在于，包括：激光器单元，包括依序层叠设置的衬底、下波导层、下光学限制层、有源层、上光学限制层和上波导层；沟槽结构，通过对激光器单元蚀刻形成，包括位于激光器单元前端腔面的沟槽以及位于沟槽之间的双沟，所述双沟和沟槽均从上波导层向衬底方向延伸且穿过有源层；填充材料，填充于所述沟槽结构中，所述填充材料包括半绝缘InP。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州芯晟半导体科技有限公司 大功率长波红外量子级联激光器及其制作方法
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