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申请/专利权人：珠海基石科技有限公司
摘要：本申请提供了一种图案化组合物、图案化薄膜、半导体器件及其制备方法。该图案化组合物包括成膜树脂、光致产酸剂、溶剂和添加剂，所述添加剂包括抗老化剂，所述抗老化剂包括如式Ⅰ所示的化合物：Ⅰ其中，R1‑R10分别独立地选自氢原子、取代或未取代的烷基等；x为1‑12的整数。本申请通过将含有如式Ⅰ所示的化合物作为抗老化剂添加至图案化组合物中，可以有效抑制图案化组合物的老化，从而提升图案化组合物的稳定性。
主权项：1.一种图案化组合物，其特征在于，所述图案化组合物包括成膜树脂、光致产酸剂、溶剂和添加剂，所述添加剂包括抗老化剂，所述抗老化剂包括如式Ⅰ所示的化合物： Ⅰ其中，R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、R10分别独立地选自氢原子、取代或未取代的烷基、取代或未取代的烯基、取代或未取代的炔基、取代或未取代的烷氧基、-C=O-R11、-C=OO-R12；所述R11选自卤素原子、取代或未取代的烷基、取代或未取代的烯基、取代或未取代的炔基、或取代或未取代的芳基；所述R12选自取代或未取代的烷基、取代或未取代的烯基、取代或未取代的炔基、或取代或未取代的芳基；x为1-12的整数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 珠海基石科技有限公司 图案化组合物、图案化薄膜、半导体器件及其制备方法
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