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申请/专利权人：博鲁可斯自动化美国有限责任公司

摘要：一种衬底处理设备，其包括线性细长的基本上六边形形状的衬底运输室，衬底运输室具有六边形的线性细长侧部以及六边形的基本上正交于线性细长侧部的至少一个端壁。多个处理模块沿着线性细长侧部中的至少一者线性地排列。衬底运输臂枢转地安装在衬底运输室内，使得衬底运输臂的枢转轴线相对于衬底运输室固定安装。衬底运输臂具有三连杆‑三接头SCARA配置，其中一个连杆是具有至少一个衬底保持器的末端执行器，其铰接以通过端部和侧部衬底运输开口将由所述至少一个衬底保持器保持的衬底运输进出衬底运输室。

主权项：1.一种衬底处理设备，包括：线性细长的基本上六边形形状的衬底运输室，所述衬底运输室具有所述六边形的沿横向方向延伸的两个线性细长侧部以及所述六边形的基本上正交于所述线性细长侧部的至少一个端壁，所述至少一个端壁具有端部衬底运输开口，所述端部和侧部衬底运输开口中的每个开口被布置成用于通过所述开口将衬底传送进出所述衬底运输室；所述线性细长侧部中的至少一者具有与其连接的至少四个侧部衬底运输开口的线性阵列，所述至少四个侧部衬底运输开口沿横向方向在公共水平面上排列，所述衬底运输开口中的每个用于联接到相应的处理模块并与所述衬底运输室连通；以及衬底运输臂，所述衬底运输臂枢转地安装在所述衬底运输室内，使得所述衬底运输臂的肩部枢转轴线相对于所述衬底运输室固定安装，所述衬底运输臂为三连杆臂，所述三连杆臂具有第一臂连杆、第二臂连杆和至少一个末端执行器，所述第一臂连杆具有所述三连杆臂的所述肩部枢转轴线，所述第二臂连杆可旋转地联接到所述第一臂连杆，所述末端执行器可旋转地联接到所述第二臂连杆，其中所述末端执行器具有至少一个衬底保持器，所述三连杆臂铰接以通过所述端部和侧部衬底运输开口将由所述至少一个衬底保持器保持的所述衬底运输进出所述衬底运输室，使得所述末端执行器对于所述端部和侧部衬底运输开口中的每一者是公共的；其中：所述六边形具有至少3:1且小于4:1高长宽比的侧部长度与宽度长宽比，使得所述线性细长侧部包括所述至少四个侧部衬底运输开口，并且所述三连杆臂包括预定的分带传输系统，所述分带传输系统的配置实现所述三连杆臂到所述线性细长的基本上六边形形状的衬底运输室的至少3:1且小于4:1的高长宽比布置结构的侧部衬底运输开口的每一个的铰接，并且所述配置对于所述铰接是公共的。

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