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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：描述了用于电镀的系统及方法。电镀系统可包括容器，该容器被配置为容纳液态电解质的第一部分。此系统亦可包括基板固持件，该基板固持件被配置为用于将基板固持于容器中。此系统可进一步包括流体连通于容器的第一储存器。此外，此系统可包括流体连通于容器的第二储存器。另外，此系统可包括第一机构，被配置为将液态电解质的第二部分从第一储存器排出至容器中。此系统亦可包括第二机构，被配置为当液态电解质的第二部分从第一储存器排出时，将液态电解质的第三部分从容器带入至第二储存器中。方法可包括使容器中的电解质的流动振荡。
主权项：1.一种电镀系统，所述电镀系统包括：容器，被配置为容纳液态电解质的第一部分；基板固持件，被配置为用于将基板固持于所述容器中；第一储存器，流体连通于所述容器；第二储存器，流体连通于所述容器；第一机构，被配置为将所述液态电解质的第二部分从所述第一储存器排出至所述容器中；第二机构，被配置为将所述液态电解质的第三部分从所述容器带入至所述第二储存器中；以及致动器，所述致动器驱动所述第一机构和所述第二机构中的一者或二者的移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 机械驱动的振荡流搅动
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