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申请/专利权人：鼎新至测(北京)科技有限公司
摘要：本发明提供一种新型测量zeta电势的方法和测量仪器，属于半导体技术领域，具体包括：将样品固定于一个圆盘上，将需要测量Zeta电势的圆盘放置于导电介质中，以与圆盘表面的位置的设定距离为约束条件，进行工作电极的设置，控制圆盘在所述导电介质中旋转，产生流电势，通过所述工作电极和反电极测量得到所述流电势，通过所述流电势的计算结果，得到所述样品的表面的zeta电势，提升了zeta电势测量结果的准确性。
主权项：1.一种新型测量zeta电势的方法，其特征在于，具体包括：将样品固定于一个圆盘上，将需要测量Zeta电势的圆盘放置于导电介质中；以与圆盘表面的位置的设定距离为约束条件，进行工作电极的设置，控制圆盘在所述导电介质中旋转，产生流电势，通过所述工作电极和反电极测量得到所述流电势；通过所述流电势的计算结果，得到所述样品的表面的zeta电势。
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