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一种具有横向模态抑制效果的声表面波装置 

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申请/专利权人:左蓝微(江苏)电子技术有限公司

摘要:本申请提供了一种具有横模抑制效果的声表面波装置,该声表面波装置包括压电性基板、抑制负载结构和IDT电极,抑制负载结构和IDT电极共同形成于压电性基板上。IDT电极包括多个依次交错间隔设置的第一电极指和第二电极指,抑制负载结构包括结构对称的第一负载和第二负载,第一负载与第一电极指的延伸端间隔设置且相互对应,并与相邻第二电极指连接,第二负载与第二电极指的延伸端间隔设置且相互对应,并与相邻第一电极指连接,使得IDT电极激发形成的声表面波会因抑制负载结构而在压电性基板上具有不同的传播速度,以起到横模抑制的效果,同时,通过将抑制负载结构和IDT电极同层设置,可以降低抑制负载结构的工艺难度,降低声表面波装置制造成本。

主权项:1.一种具有横向模态抑制效果的声表面波装置,其特征在于,包括:压电性基板;IDT电极,形成于所述压电性基板上,包括多个沿第一方向依次交错间隔设置的第一电极指和第二电极指,以及沿第二方向间隔设置的第一汇流条和第二汇流条;多个所述第一电极指的延伸端自所述第二汇流条的一侧向所述第一汇流条的一侧延伸,并与所述第一汇流条相间隔,多个所述第二电极指的延伸端自所述第一汇流条的一侧向所述第二汇流条的一侧延伸,并与所述第二汇流条相间隔;抑制负载结构,形成于所述压电性基板上,与所述IDT电极同层,包括多个在第一方向上结构对称的第一负载和第二负载;所述第一负载间隔设置在所述第一电极指的延伸端与所述第一汇流条之间,且所述第一负载在所述第一方向上的延伸部与相邻所述第二电极指的侧边相连;所述第二负载间隔设置在所述第二电极指的延伸端与所述第二汇流条之间,且所述第二负载在所述第一方向上的延伸部与相邻所述第一电极指的侧边相连;其中,所述第一负载的延伸部和所述第二负载的延伸部在所述第一方向上的延伸方向相反,所述第一方向与所述第二方向正交,且与所述压电性基板的表面平行。

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权利要求:

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