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申请/专利权人：南京先进激光技术研究院;南京中科神光科技有限公司
摘要：一种宽光谱散射与成像融合式套刻误差测量装置及方法，宽光谱光源发出的光，经过光束准直系统、滤波器、偏振器、光斑整形模块后，通过第一分光棱镜反射后进入显微物镜，经显微物镜聚焦后照射到套刻测量标记上产生的反射光和衍射光，又通过显微物镜被收集，一路光通过第一分光棱镜后再经第二分光棱镜反射后，通过第一成像镜组成像到第一相机上；另一路光通过第一分光棱镜后再通过第二分光棱镜，通过第二成像镜组反射后再次通过第二成像镜组，将显微物镜光瞳面的像成到第二相机上。通过多显微物镜镜头转换，基于衍射（散射）套刻误差测量光路简化，简化了套刻误差测量的光路结构，提高了套刻误差测量的效率、测量精度和稳定性。
主权项：1.一种宽光谱散射与图像融合式套刻误差测量装置，其特征在于：包括依次串联的光束准直系统（2）、滤波器（3）、偏振器（4）、光斑整形模块（5），光束准直系统（2）的输入端连接宽光谱光源（1）发出的光，光斑整形模块（5）的输出端与第一分光棱镜（6）的输入端连接，第一分光棱镜（6）的第一输出端与显微物镜（7）的输入端连接；显微物镜（7）的输出端与套刻测量标记（8）连接；第一分光棱镜（6）的第二输出端与第二分光棱镜（10）的输入端连接；第二分光棱镜（10）的第一输出端串联第二成像镜组（11）、反射镜（12），第二分光棱镜（10）的第二输出端串联第一成像镜组（14）、第一相机（13），第二分光棱镜（10）的第三输出端串联反射和补偿镜（15）、第二相机（16）；套刻测量标记（8）的下部设置可调工件台（9）。
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