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申请/专利权人：兰州空间技术物理研究所
摘要：本申请涉及一种等离子体源束流测量方法及装置。螺杆连接真空舱体和偏置板安装架、偏置板安装架上安装偏置板绝缘支撑、所述偏置板绝缘支撑上安装偏置板，使得偏置板固定在等离子体源的出口位置；通过螺杆调节等离子体源束流测量的偏置板与等离子体源间距；在所述偏置板与等离子体源间距符合预设间距的情况下，电源向所述偏置板施加所述等离子体源束流测量的电压；所述偏置板根据所述电压吸引所述等离子体源束流测量的等离子体源产生的粒子；对所述等离子体源产生的粒子对应的电源回路电流进行测量，得到所述等离子体源束流测量的等离子体源产生束流。本申请能够在真空等离子体环境中准确测量等离子体源的粒子发射能力，推动等离子体源的工程应用。
主权项：1.一种等离子体源束流测量方法，其特征在于，包括以下步骤：螺杆连接真空舱体和偏置板安装架、所述偏置板安装架上安装偏置板绝缘支撑、所述偏置板绝缘支撑上安装偏置板，使得所述偏置板固定在等离子体源的出口位置；通过所述螺杆调节等离子体源束流测量的偏置板与等离子体源间距；在所述偏置板与等离子体源间距符合预设间距的情况下，电源向所述偏置板施加所述等离子体源束流测量的电压；所述偏置板根据所述电压吸引所述等离子体源束流测量的等离子体源产生的粒子；对所述等离子体源产生的粒子对应的电源回路电流进行测量，得到所述等离子体源束流测量的等离子体源产生束流。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 兰州空间技术物理研究所 一种等离子体源束流测量方法及装置
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