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申请/专利权人：西安电子科技大学
摘要：本发明公开了一种基于偏振复用调制的扫描定量相位显微装置，包括激光焦点扫描模块、偏振复用调制模块和图像采集模块，其中，激光焦点扫描模块产生对待测样品进行逐点扫描照明的准直光束；偏振复用调制模块对准直光束沿X轴方向和Y轴方向进行偏振调制，利用相位型空间光调制器对沿Y轴方向的线偏振光进行调制，通过在相位型空间光调制器上加载沿X轴方向或沿Y轴方向产生剪切偏移的预定相位调制图案，获得携带有样品不同点处复反射率信息的反射光；图像采集模块获得沿X轴剪切方向和沿Y轴剪切方向的多张扫描微分干涉相移图。本发明通过将相位型空间光调制器与激光焦点扫描照明结合，实现了扫描微分干涉测量，有效避免了空间衍射串扰问题。
主权项：1.一种基于偏振复用调制的扫描定量相位显微装置，其特征在于，包括激光焦点扫描模块、偏振复用调制模块和图像采集模块，其中，所述激光焦点扫描模块用于产生能够对待测样品进行逐点扫描照明的准直光束；所述偏振复用调制模块用于对所述准直光束沿相互垂直的X轴方向和Y轴方向进行偏振调制，利用相位型空间光调制器对沿Y轴方向偏振的线偏振光进行调制，通过在所述相位型空间光调制器上加载沿X轴方向或沿Y轴方向发生剪切偏移的预定相位调制图案，获得携带有样品不同点处复反射率信息的反射光，其中，所述X轴方向与所述Y轴方向所在平面垂直于所述偏振复用调制模块的光轴方向；所述图像采集模块用于利用所述携带有样品不同点处复反射率信息的反射光获得沿X轴剪切方向的多张扫描微分干涉相移图和沿Y轴剪切方向的多张扫描微分干涉相移图。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安电子科技大学 基于偏振复用调制的扫描定量相位显微装置和方法
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