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大尺寸石英坩埚脱模用辅助搬运工装 

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申请/专利权人:宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司

摘要:该发明提供一种大尺寸石英坩埚脱模用辅助搬运工装,包括相对设置的两个夹抱件及连接在两个夹抱件之间的柔性箍带,两个夹抱件分别包括活动夹板和施力臂,两个夹抱件的活动夹板相对设置,两个夹抱件的施力臂相对设置在相对的两个活动夹板的背部,柔性箍带的两端分别与相对设置的两个活动夹板的背部连接,相对设置的两个活动夹板可分别置于待脱模的石英坩埚外侧壁的两侧,并使连接在两个活动夹板上的柔性箍带沿石英坩埚外侧壁的下侧向上对石英坩埚形成环抱,通过同时向上抬起两个活动夹板上的施力臂,以使两个活动夹板向石英坩埚上侧形成对向夹持力,并与柔性箍带对石英坩埚形成夹抱,以便于对石英坩埚进行脱模和搬运。

主权项:1.一种大尺寸石英坩埚脱模用辅助搬运工装,其特征在于:包括相对设置的两个夹抱件及连接在两个夹抱件之间的柔性箍带,两个夹抱件分别包括活动夹板和施力臂,两个夹抱件的活动夹板相对设置,两个夹抱件的施力臂相对设置在相对的两个活动夹板的背部,所述柔性箍带的两端分别与相对设置的两个活动夹板的背部连接,相对设置的两个活动夹板可分别置于待脱模的石英坩埚外侧壁的两侧,并使连接在两个活动夹板上的柔性箍带沿石英坩埚外侧壁的下侧向上对石英坩埚形成环抱,通过同时向上抬起两个活动夹板上的施力臂,以使两个活动夹板向石英坩埚上侧形成对向夹持力,并与柔性箍带对石英坩埚形成夹抱,以对石英坩埚进行搬运。

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权利要求:

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