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申请/专利权人：青岛翼晨镭硕科技有限公司
摘要：本申请涉及一种复合亚波长光栅结构、可饱和吸收器件及其制备方法。该方法包括：在基底上通过电子束蒸发法制备金属反射镜层；通过磁控溅射技术在金属反射镜层上制备初始GSBT薄膜层；基于激光直写扫描退火的方法在初始GSBT薄膜层上刻蚀出预设光栅图案，并使初始GSBT薄膜层从非晶态转换为晶态；通过预设酸性溶液对预设光栅图案之外的初始GSBT薄膜层区域进行选择性刻蚀，以生成目标GSBT薄膜层；通过湿法转移技术将石墨烯薄膜转移覆盖在目标GSBT薄膜层上，以基于目标GSBT薄膜层和石墨烯薄膜生成复合亚波长光栅结构的光栅层。基于上述方法，不仅提高了光栅的性能，还克服了能耗高、热稳定性差和制造复杂性高等问题。
主权项：1.一种复合亚波长光栅结构的制备方法，其特征在于，包括：在基底上通过电子束蒸发法制备金属反射镜层；通过磁控溅射技术在所述金属反射镜层上制备初始GSBT薄膜层；基于激光直写扫描退火的方法在所述初始GSBT薄膜层上刻蚀出预设光栅图案，并使所述初始GSBT薄膜层从非晶态转换为晶态；通过预设酸性溶液对所述预设光栅图案之外的所述初始GSBT薄膜层区域进行选择性刻蚀，以生成目标GSBT薄膜层；通过湿法转移技术将石墨烯薄膜转移覆盖在所述目标GSBT薄膜层上，以基于所述目标GSBT薄膜层和所述石墨烯薄膜生成复合亚波长光栅结构的光栅层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛翼晨镭硕科技有限公司 复合亚波长光栅结构、可饱和吸收器件及其制备方法
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