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申请/专利权人:诺视科技(苏州)有限公司
摘要:本发明公开一种堆叠集成的微显示器件及其制备方法,涉及半导体技术领域。该微显示器件包括驱动晶圆、设置于驱动晶圆之上的一层或多层显示器件层;任一显示器件层中包括子像素、绝缘层,子像素远离驱动晶圆的一面为第一欧姆接触层;至少一层显示器件层中的绝缘层填充在显示器件层中,且子像素周围的绝缘层的顶部高度不高于同层的子像素的第一欧姆接触层的顶部高度,以使得子像素的第一欧姆接触层相较于同层中周围的绝缘层,露出上表面和或部分侧壁;任一显示器件层中的子像素的第一欧姆接触层通过透明导电层进行共阴极连接,透明导电层覆设于每一显示器件层中的子像素的第一欧姆接触层之上。
主权项:1.一种堆叠集成的微显示器件,其特征在于,所述微显示器件包括驱动晶圆、设置于所述驱动晶圆之上的一层或多层显示器件层;任一所述显示器件层中包括子像素、绝缘层,所述子像素远离所述驱动晶圆的一面为第一欧姆接触层,且任一显示器件层包括的所述子像素与其余显示器件层包括的所述子像素在所述驱动晶圆上的投影不重合;至少一层所述显示器件层中的绝缘层填充在所述显示器件层中,且所述子像素周围的绝缘层的顶部高度不高于同层的所述子像素的第一欧姆接触层的顶部高度,以使得所述子像素的第一欧姆接触层相较于同层中周围的绝缘层,露出上表面和或部分侧壁;任一所述显示器件层中的子像素的第一欧姆接触层通过透明导电层进行共阴极连接,所述透明导电层覆设于每一显示器件层中的子像素的第一欧姆接触层之上。
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