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申请/专利权人：福建华清电子材料科技有限公司
摘要：本发明涉及陶瓷材料技术领域，具体涉及一种氮化铝单晶衬底的制备方法，包括以下步骤：S1：在氮化铝单晶衬底的表面进行共聚物涂覆，得共聚物层；S2：于共聚物层表面再涂覆交联物，得交联物层；S3：再于交联物层表面进行银离子溅射，得氮化铝单晶衬底。本发明一种氮化铝单晶衬底的制备方法，所得氮化铝单晶膜层具有良好的结晶质量。
主权项：1.一种氮化铝单晶衬底的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：在氮化铝单晶衬底的表面进行共聚物涂覆，得共聚物层；S2：于共聚物层表面再涂覆交联物，得交联物层；S3：再于交联物层表面进行银离子溅射，得氮化铝单晶衬底。
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百度查询： 福建华清电子材料科技有限公司 一种氮化铝单晶衬底的制备方法
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