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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：基板处理装置具备处理块、两个开闭器以及两个基板交接机器人。处理块具有基板入口及基板出口，在基板入口接收未处理的基板，并对基板进行预先设定的处理。处理后的基板被引导至基板出口。一方的开闭器在与基板入口对应的位置将收纳有未处理的基板的一前开式晶圆传送盒的盖打开。一方的基板交接机器人从一前开式晶圆传送盒取出基板，并移交到处理块的基板入口。另一方的开闭器在与基板出口对应的位置将空的另一前开式晶圆传送盒的盖打开。另一方的基板交接机器人从处理块的基板出口接收基板，并插入另一前开式晶圆传送盒。
主权项：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：处理块，其具有基板入口及基板出口，在上述基板入口接收未处理的基板，且对接收到的基板进行预先设定的处理，并且将处理后的基板引导至上述基板出口；第一开闭器，其设置于与上述基板入口对应的位置，支撑收纳有未处理的多张基板的第一基板容器，并且将上述第一基板容器的盖开闭；第一基板交接部，其从由上述第一开闭器打开了上述盖的上述第一基板容器取出未处理的多张基板，并将取出的多张基板移交到上述处理块的上述基板入口；第二开闭器，其设置于与上述基板出口对应的位置，支撑空的第二基板容器，并且将上述第二基板容器的盖开闭；以及第二基板交接部，其从上述处理块的上述基板出口接收处理后的多张基板，并将接收到的多张基板插入由上述第二开闭器打开了上述盖的上述第二基板容器。
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