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申请/专利权人：新格拉斯科技集团
摘要：本发明涉及一种用于涂层装置的涂层模块以及一种用于更换涂层模块中的涂层靶材的方法。
主权项：1.一种用于涂层系统的涂层模块1，其中所述涂层模块包括可抽真空的处理室、用于以真空密闭方式关闭所述处理室的室盖2，以及由涂层靶材3、靶材背板4、暗区屏蔽罩5和磁体系统6组成的涂层单元，其中所述涂层靶材3、所述靶材背板4和所述暗区屏蔽罩5安装在所述处理室中，其中所述磁体系统6安装在所述室盖2上，并且其中提供介质供应17a、17b、22用于在靶材侧向所述涂层单元提供流体和或能量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 新格拉斯科技集团 具有改善的阴极布置的涂层模块
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