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申请/专利权人：桂林电子科技大学;桂林恒毅金宇通信技术有限公司
摘要：一种基于薄膜铌酸锂的双层三叉戟结构的模斑转换器，属于铌酸锂光子芯片技术领域。从下至上依次由石英衬底层、二氧化硅下包层、铌酸锂波导、氮氧化硅波导上包层组成，氮氧化硅波导包层在二氧化硅包层内，三层铌酸锂波导在氮氧化硅波导内分别为双层三叉戟结构波导和脊型波导，传输部分为锥形结构。随着铌酸锂波导宽度逐渐增大，波导对光的限制效果增强。当波导宽度增至一定程度时，光被有效限制在波导内部，导致光斑尺寸减小，从而实现光纤与波导之间两种模斑的高效耦合。通过优化设计，模斑转换器传输过程的透过率可达到0.989，耦合效率达到93％，光纤耦合对准容差为±0.75μm，产生1dB的偏移损耗。
主权项：1.一种基于薄膜铌酸锂的双层三叉戟结构的模斑转换器，其特征在于，从下至上依次由石英衬底层1、二氧化硅下包层2、铌酸锂波导层3、氮氧化硅波导上包层4组成,所述二氧化硅下包层2于所述石英衬底层1的上方，所述氮氧化硅波导上包层4在所述二氧化硅下包层2内,所述铌酸锂波导层3位于所述氮氧化硅波导上包层4中,所述铌酸锂波导层3由双层三叉戟结构波导以及脊波导组成,所述铌酸锂波导层3的第一层铌酸锂波导301和第二层铌酸锂波导302均为三叉戟结构波导，且第一层铌酸锂波导301紧贴二氧化硅包层2,第一层铌酸锂波导301的三根锥形波导体结构相同，以中间波导体对称，且光纤耦合端横截面为三个相同且距离相等的等腰梯形,横截面宽度保持一致，第二层铌酸锂波导302与第一层铌酸锂波导301除长度外其他参数一致，第三层铌酸锂波导303为脊型和平板构成的锥形波导，三叉戟波导结构的三根波导体以及脊波导均采用锥型结构。
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百度查询： 桂林电子科技大学 桂林恒毅金宇通信技术有限公司 基于薄膜铌酸锂的双层三叉戟结构的模斑转换器
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