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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
摘要：本发明提供了一种异形Submount结构陶瓷薄膜基板及其制备方法，属于陶瓷封装技术领域，包括将制成的生坯按照设定的尺寸分割为统一规格的生瓷片料；根据陶瓷Submount的设计要求，对每一层生瓷片料进行激光开口；采用与陶瓷收缩率一致的金属浆料对激光开口进行填充；将填充金属浆料的生瓷片料按照设计顺序堆叠层压成型；热切；高温烧结形成熟瓷；对熟瓷表面进行金属化图形的制作；刻蚀掉填充的金属浆料；清洗干燥完成异形Submount结构陶瓷薄膜基板的制作。本发明利用高温共烧陶瓷结合金属浆料实现异形陶瓷Submount制作，避免了传统激光加工精度低、夹具设计复杂、清洗困难等问题，可以更加高效、高质量地实现异形Submount陶瓷的制备。
主权项：1.一种异形Submount结构陶瓷薄膜基板的制备方法，其特征在于，所述方法包括：将制成的生坯按照设定的尺寸分割为统一规格的生瓷片料；根据陶瓷Submount的设计要求，对每一层生瓷片料进行激光开口；采用与陶瓷收缩率一致的金属浆料对激光开口进行填充；将填充金属浆料的生瓷片料按照设计顺序堆叠层压成型；热切，将层叠的生瓷片料切割为设计尺寸；高温烧结形成熟瓷；对熟瓷表面进行金属化图形的制作；刻蚀掉填充的金属浆料；清洗干燥完成异形Submount结构陶瓷薄膜基板的制作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第十三研究所 异形Submount结构陶瓷薄膜基板及其制备方法
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