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申请/专利权人：上海升翕光电科技有限公司
摘要：本发明提供一种基板对准调节系统及蒸镀机，涉及蒸镀机技术领域。本发明提供的基板对准调节系统包括支撑台、真空吸附装置以及调节装置，基板被配置为安置在支撑台的第一面上；真空吸附装置包括吸嘴、吸气管以及负压设备，吸嘴的第一端连通于吸气管的第一端，吸气管的第二端连通于负压设备，支撑台具有沿自身厚度方向贯穿的安装孔，吸气管的第一端穿设于安装孔中，以使吸嘴的第二端延伸至支撑台的第一面，负压设备被配置为对吸气管进行抽气，以通过吸嘴的第二端将基板吸附于支撑台的第一面；调节装置连接于支撑台，调节装置用于在吸嘴吸附基板时调节支撑台和基板的位姿。本发明提供一种基板对准调节系统及蒸镀机，可以对基板进行保护。
主权项：1.一种基板对准调节系统，其特征在于，包括支撑台、真空吸附装置以及调节装置，所述基板被配置为安置在所述支撑台的第一面上；所述真空吸附装置包括吸嘴、吸气管以及负压设备，所述吸嘴的第一端连通于所述吸气管的第一端，所述吸气管的第二端连通于所述负压设备，所述支撑台具有沿自身厚度方向贯穿的安装孔，所述吸气管的第一端穿设于所述安装孔中，以使所述吸嘴的第二端延伸至所述支撑台的第一面，所述负压设备被配置为对所述吸气管进行抽气，以通过所述吸嘴的第二端将所述基板吸附于所述支撑台的第一面；所述调节装置连接于所述支撑台，所述调节装置用于在所述吸嘴吸附所述基板时调节所述支撑台和所述基板的位姿，以使所述基板和掩膜版对准。
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百度查询： 上海升翕光电科技有限公司 基板对准调节系统及蒸镀机
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