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申请/专利权人：瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司
摘要：本发明提供了一种微机械陀螺仪，包括基底、固定于基底的至少两个检测结构、以及连接相邻检测结构的耦合梁，每一检测结构包括固定于基底的锚点、悬置于基底上并与锚点连接的圆环形振动结构、多个面内换能器以及多个面外换能器，面内换能器绕圆环形振动结构的中心分布在圆环形振动结构的外侧，面外换能器绕圆环形振动结构的中心分布于圆环形振动结构下方或上方，该检测结构工作在结构面内的3θ体振动驱动模态以及工作在结构面外的第2阶弯曲体振动检测模态，两个体振动模态可相互互换。本发明的微机械陀螺仪可以提高检测灵敏度。
主权项：1.一种微机械陀螺仪，其特征在于，包括基底、固定于所述基底的至少两个检测结构、以及连接相邻所述检测结构并形成机械耦合的耦合梁，每一所述检测结构包括固定于所述基底的锚点、悬置于所述基底上并与所述锚点形成机械耦合的圆环形振动结构、多个用于耦合所述检测结构所在平面内机械场与电场的面内换能器、多个用于耦合所述检测结构所在平面外机械场与电场的面外换能器，所述面内换能器绕所述圆环形振动结构的中心分布在所述圆环形振动结构的外侧，每一所述面内换能器均与所述基底固定连接，相邻两个所述面内换能器间隔设置；所述面外换能器绕所述圆环形振动结构的中心分布于所述圆环形振动结构下方，每一所述面外换能器均与所述基底固定连接且与所述圆环形振动结构间隔设置，相邻两个所述面外换能器间隔设置；其中，一所述检测结构中的圆环形振动结构与相邻的所述检测结构中的圆环形振动结构通过所述耦合梁连接，以使两个相邻的所述检测结构的运动关联；所述检测结构工作在两个体振动模态中，两个所述体振动模态包括工作在所述检测结构面内的3θ体振动驱动模态，以及工作在所述检测结构面外的第2阶弯曲体振动检测模态，两个体振动模态可相互互换。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 瑞声声学科技(深圳)有限公司 微机械陀螺仪
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