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申请/专利权人：卓尔半导体设备(苏州)有限公司

摘要：本发明公开了一种塑封压机自动化上下料系统，其涉及半导体生产设备领域。其技术方案要点包括塑封压机、上料装置、下料装置和移载装置，上料装置包括供料支架以及呈双层布置的料片排布输送机构和胶粒排布输送机构；上料装置和下料装置分别布置于塑封压机两侧，移载装置同时与上料装置、塑封压机以及下料装置相对；移载装置包括第一移载机构和第二移载机构；第二移载机构伸入至塑封压机内；第一移载机构包括第一夹头，第二移载机构包括第二夹头，供料支架上分别设置有与第一夹头配合的第一夹持区，以及与第二夹头配合的第二夹持区。本发明整体布局紧凑，有利于优化整体占用空间和占地面积，从而降低生产成本。

主权项：1.一种塑封压机自动化上下料系统，包括：塑封压机；上料装置，所述上料装置包括料片排布输送机构、胶粒排布输送机构以及供料支架，所述供料支架包括料片支架和胶粒支架；下料装置；移载装置；其特征在于：所述上料装置和下料装置分别布置于塑封压机两侧，所述移载装置同时与上料装置、塑封压机以及下料装置相对；所述移载装置包括第一移载机构和第二移载机构；所述第二移载机构伸入至塑封压机内，用于实现供料支架在塑封压机的内外周转；所述第一移载机构用于实现供料支架在上料装置和第二移载机构之间的周转、料片支架在第二移载机构和下料装置之间的周转以及料片支架在下料装置和上料装置之间的周转；所述料片排布输送机构与胶粒排布输送机构呈双层布置，所述料片排布输送机构能够驱动料片支架沿X轴方向移动，所述胶粒排布输送机构能够驱动胶粒支架沿X轴方向移动；所述第一移载机构包括第一夹头，所述第一夹头能够分别沿Z轴方向和Y轴方向移动；所述第二移载机构包括第二夹头，所述第二夹头能够分别沿Z轴方向和X轴方向移动；所述供料支架上分别设置有与第一夹头配合的第一夹持区，以及与第二夹头配合的第二夹持区；所述第一夹持区和第二夹持区设置于供料支架的同一侧边处，或者所述第一夹持区和第二夹持区分别设置于供料支架的相邻侧边处；所述移载装置包括移载台架，所述第一移载机构包括设置于移载台架上的Y轴驱动组件，所述Y轴驱动组件上设置有第一Z轴驱动组件，所述第一夹头设置于第一Z轴驱动组件上；所述第二移载机构包括设置于移载台架上的X轴驱动组件，所述X轴驱动组件上设置有第二Z轴驱动组件，所述第二夹头设置于第二Z轴驱动组件上。

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