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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明提供一种能够有效地除去附着于热交换器的底面的污垢的清洗装置和研磨装置。本发明的清洗装置对调整研磨垫3的表面温度的热交换器11进行清洗。该清洗装置具备：使热交换器11在该热交换器11能够与研磨垫3进行热交换的温度调整位置与使该热交换器11从研磨垫3的表面分离的退避位置之间移动的移动机构16、以及清洗移动到退避位置的热交换器11的底面的清洗机构10。退避位置位于研磨垫3的侧方，清洗机构10包括向移动到退避位置的热交换器11的底面喷射清洗液的至少一个清洗液喷嘴28A或能够浸渍热交换器11的底面的清洗槽60。
主权项：1.一种清洗装置，是对研磨垫的表面温度进行调整的热交换器的清洗装置，其特征在于，具备：移动机构，该移动机构使所述热交换器在温度调整位置和退避位置之间移动，该温度调整位置是该热交换器能够与所述研磨垫进行热交换的位置，该退避位置是该热交换器从所述研磨垫的表面离开的位置；以及清洗机构，该清洗机构对移动到所述退避位置的热交换器的底面进行清洗，所述退避位置位于所述研磨垫的侧方，所述清洗机构包括向移动到所述退避位置的热交换器的底面喷射清洗液的至少一个清洗液喷嘴，所述移动机构具备：转动机构，该转动机构使所述热交换器相对于所述研磨垫的表面在水平方向上转动，并且使所述热交换器相对于所述研磨垫的表面在铅垂方向上转动；以及升降机构，该升降机构使所述热交换器相对于所述研磨垫的表面上下移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 热交换器的清洗装置及研磨装置
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