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申请/专利权人：佳能株式会社
摘要：本公开涉及曝光装置以及物品制造方法。曝光装置具备：照明系统，对配置于被照明面的掩模进行照明；投影光学系统，将掩模的图像投影到基板；基板载置台，支承基板；传感器，搭载于基板载置台；以及控制部，控制传感器。控制部实施多次检测处理，检测处理是使用传感器检测从配置于被照明面的多个标志选择的至少2个标志的成像位置的处理，在检测处理与检测处理之间，实施使搭载有传感器的基板载置台移动的移动处理。以使在移动处理之前的检测处理中从所述多个标志选择的至少2个标志的一部分和在移动处理之后的检测处理中从所述多个标志选择的至少2个标志的一部分共同的方式，实施移动处理中的基板载置台的移动。
主权项：1.一种曝光装置，具有：照明系统，对配置于被照明面的掩模进行照明；投影光学系统，将所述掩模的像投影到基板；以及基板载置台，保持所述基板，所述曝光装置的特征在于，具备：传感器，搭载于所述基板载置台；以及控制部，控制所述传感器，所述控制部实施多次检测处理，该检测处理是使用所述传感器检测配置于所述被照明面的多个标志的至少2个标志的成像位置的处理，在所述检测处理与所述检测处理之间，实施使搭载有所述传感器的所述基板载置台移动的移动处理，以使在所述移动处理之前的所述检测处理中检测成像位置的所述多个标志的至少2个标志和在所述移动处理之后的所述检测处理中检测成像位置的所述多个标志的至少2个标志一部分共同、其他部分不同的方式，实施所述移动处理中的所述基板载置台的移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能株式会社 曝光装置以及物品制造方法
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