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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种线缆固定结构和成膜设备。线缆固定结构包括：多对固定钣金，各对固定钣金中的第一固定钣金组件位于成膜设备的外部支架端，第二固定钣金组件位于成膜设备的腔盖端；以及拖链组，包括多条拖链，拖链的内部用以容纳供电线缆，各拖链的两端分别经由第一固定钣金组件和第二固定钣金组件固定于外部支架端和腔盖端，其中，各拖链在其靠近腔盖端的预设位置处，反装若干节拖链节，以支撑拖链在外部支架端和腔盖端之间呈S形状弯曲。本实用新型能够使得装有供电线缆的拖链在进行开关腔运动中，自主维持弯曲形态，无需人工干预，从而在开关腔运动中不会造成内部线缆表面磨损，并且还能减小外部支架的走线压力，提高设备整体外观效果。
主权项：1.一种用于成膜设备的线缆固定结构，其特征在于，包括：多对固定钣金，各对所述固定钣金中的第一固定钣金组件位于所述成膜设备的外部支架端，第二固定钣金组件位于所述成膜设备的腔盖端；以及拖链组，包括多条拖链，所述拖链的内部用以容纳供电线缆，各所述拖链的两端分别经由所述第一固定钣金组件和所述第二固定钣金组件固定于所述外部支架端和所述腔盖端，其中，各所述拖链在其靠近所述腔盖端的预设位置处，反装若干节拖链节，以支撑所述拖链在所述外部支架端和所述腔盖端之间呈S形状弯曲。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 一种用于成膜设备的线缆固定结构和成膜设备
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