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申请/专利权人：滁州亿晶光电科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于TopCon镀膜工艺的新型微凹石墨舟，包括：舟叶，所述舟叶上可阵列放置硅片；卡点组件，所述卡点组件设置在舟叶上，所述卡点组件用于卡住硅片；所述舟叶位于卡点组件周围设置有方形区域，所述卡点组件内形成微凹方形区域；所述舟叶位于微凹方形区域中部为中空，通过在舟叶上设置卡点组件，便于将硅片放置在卡点组件上，并使得硅片紧密与舟叶贴合，且在卡点组件周围开设方形区域以及微凹方形区域，可让气体沉积仅出现在侧边及硅片正面边缘处，可以有效防止气体电离后沉积在硅片的另一面。在产线连续生产时，与现有石墨舟相比，从源头上减少了气体沉积绕镀的可能，可以有效减少绕镀数量和程度，清洗成本较低。
主权项：1.一种用于TopCon镀膜工艺的新型微凹石墨舟，其特征在于，包括：舟叶1，所述舟叶1上可阵列放置硅片；卡点组件2，所述卡点组件2设置在舟叶1上，所述卡点组件2用于卡住硅片；所述舟叶1位于卡点组件2周围设置有方形区域，所述卡点组件2内形成微凹方形区域；所述舟叶1位于微凹方形区域中部为中空。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 滁州亿晶光电科技有限公司 一种用于TopCon镀膜工艺的新型微凹石墨舟
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