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申请/专利权人：广州海创产业技术研究院
摘要：本实用新型公开感应加热线圈组件和晶体生长设备，涉及半导体制备技术领域，感应加热线圈组件包括导体、多个支撑杆和多个套筒组件，导体沿螺旋方向延伸并环绕第一轴线形成多匝线圈本体；每一组相邻的两匝线圈本体之间在平行于第一轴线的方向上存在间隔区域；支撑杆平行于第一轴线，多个支撑杆围绕线圈本体的周围均匀分布；多个套筒组件分别套接于多个支撑杆上，位于同一支撑杆上相邻的套筒组件彼此抵接，套筒组件与每一匝线圈本体一一对应连接。本方案通过多个支撑杆对线圈本体的间接支撑，防止了线圈本体的形变，保证了线圈本体的圆度；通过让上下相邻的套筒组件彼此抵接，从而保证了与套筒组件对应连接的线圈本体每一匝之间的间隔保持一致。
主权项：1.一种感应加热线圈组件，其特征在于，包括：导体，所述导体沿螺旋方向延伸并环绕第一轴线形成多匝线圈本体；每一组相邻的两匝所述线圈本体之间在平行于所述第一轴线的方向上存在间隔区域；多个支撑杆，所述支撑杆平行于所述第一轴线，多个所述支撑杆围绕所述线圈本体的周围均匀分布；多个套筒组件，多个所述套筒组件分别套接于多个所述支撑杆上，位于同一所述支撑杆上的相邻的所述套筒组件彼此抵接，所述套筒组件与每一匝所述线圈本体一一对应连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州海创产业技术研究院 感应加热线圈组件和晶体生长设备
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