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申请/专利权人：深圳泰研半导体装备有限公司
摘要：本实用新型提供的一种应用伯努利吸盘的n型取放装置，包含n型连接件、伯努利机械手指，n型连接件包含第一立板部、连接在第一立板部顶端的第一横板部、连接在第一横板部另一端的第二立板部，第一立板部、第一横板部、第二立板部之间形成避位空腔，伯努利机械手指安装在第二立板部底部。将机械手的输出端安装在第一立板部上，伯努利机械手指取料后，通过机械手带动n型连接件纵向摆动，以将伯努利机械手指上的晶圆摆放在刻蚀机的加工托盘上，避位空腔可以对刻蚀机的机体边框进行避位，避免n型连接件与机体边框产生干涉，从而简化机械手的动作过程，提高放料效率，其结构简单，重量轻，可以提高取放料稳定性和精度。
主权项：1.一种应用伯努利吸盘的n型取放装置，其特征在于，包含n型连接件、伯努利机械手指，所述n型连接件包含第一立板部、连接在所述第一立板部顶端的第一横板部、连接在所述第一横板部另一端的第二立板部，所述第一立板部、第一横板部、第二立板部之间形成避位空腔，所述伯努利机械手指安装在所述第二立板部底部。
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