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申请/专利权人：无锡海浥半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆清洗抛动机构，包括清洗抛动机构主体，所述清洗抛动机构主体包括支撑座、固定架、转动轴、清洗槽与安装箱，所述固定架焊接固定在支撑座的上表面，所述清洗槽焊接固定在固定架的上表面，所述安装箱焊接固定在固定架的端部位于支撑座的上表面；通过设计拆装机构，可以当清洗抛动机构主体在安装使用前，通过卡体卡合在卡槽的内部将两个安装板与防滑板卡合安装在转动轴的表面，卡合安装后旋转固定螺栓嵌入内螺纹孔的内部对安装板与防滑板加固安装，清洗抛动机构主体对晶圆清洗抛动处理时，晶圆接触于防滑板的表面经常性转动产生摩擦至损坏时，可以相反操作将防滑板与安装板拆卸更换，更换拆装便利。
主权项：1.一种晶圆清洗抛动机构，包括清洗抛动机构主体100，所述清洗抛动机构主体100包括支撑座101、固定架102、转动轴103、清洗槽104与安装箱105，所述固定架102焊接固定在支撑座101的上表面，所述清洗槽104焊接固定在固定架102的上表面，所述安装箱105焊接固定在固定架102的端部位于支撑座101的上表面，两个所述转动轴103转动连接在清洗槽104的内部，其特征在于：所述清洗抛动机构主体100上还设置有：拆装机构，且该拆装机构包括防滑安装组件、卡合组件与固定组件，所述防滑安装组件设置在转动轴103的外表面，所述卡合组件设置在防滑安装组件的内表面与转动轴103的外表面连接处，所述固定组件设置在卡合安装组件端部；润滑机构，且该润滑机构包括进油组件与出油润滑组件，所述进油组件设置在安装箱105内部顶端，所述出油润滑组件设置在进油组件的内部底端。
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权利要求：
百度查询： 无锡海浥半导体科技有限公司 一种晶圆清洗抛动机构
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