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一种半导体清洗液处理装置 

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申请/专利权人:嘉际环控(西安)科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种半导体清洗液处理装置,包括沉淀池与电机,所述沉淀池内部转动连接有对称设置的安装架,所述安装架侧壁上均开设有对称设置的通行槽,所述安装架内部均滑动连接有对称设置的移动块,同一水平面的所述移动块之间均共同转动连接有转动杆,所述沉淀池内部两侧壁均固定连接有两个传动齿条,所述沉淀池内部两侧壁均固定连接有导向架,所述导向架上均开设有引路槽,所述转动杆两端均穿过通行槽与引路槽固定连接有从动齿轮,且所述从动齿轮均与传动齿条啮合连接,本实用新型的有益效果是:可提升废液与处理剂混合的效率,解决了传统直接投放处理剂的方式,存在处理剂与清洗废液接触范围小且处理效率低的问题。

主权项:1.一种半导体清洗液处理装置,其特征在于:包括沉淀池(1)与电机(2),所述沉淀池(1)内部转动连接有对称设置的安装架(3),所述安装架(3)侧壁上均开设有对称设置的通行槽(4),所述安装架(3)内部均滑动连接有对称设置的移动块(5),同一水平面的所述移动块(5)之间均共同转动连接有转动杆(6),所述沉淀池(1)内部两侧壁均固定连接有两个传动齿条(7),所述沉淀池(1)内部两侧壁均固定连接有导向架(8),所述导向架(8)上均开设有引路槽(9),所述转动杆(6)两端均穿过通行槽(4)与引路槽(9)固定连接有从动齿轮(10),且所述从动齿轮(10)均与传动齿条(7)啮合连接,所述转动杆(6)均与通行槽(4)以及引路槽(9)活动连接,所述转动杆(6)上均固定连接有多个搅拌叶(11)。

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权利要求:

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