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申请/专利权人：北京旭灿半导体科技有限公司;东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司
摘要：本申请提供一种气体循环装置和晶体生长系统。气体循环装置，包括热交换器、压缩机、冷却环、第一流量计、浮球流量计和真空泵，热交换器具有进口和出口，出口与进口通过第一管路连通；压缩机设置在第一管路上，用于对其他进行压缩；冷却环设置在第一管路上，且位于热交换器的出口与压缩机之间，用于对第一管路中的气体进行冷却降温；第一流量计设置在第一管路上，且位于压缩机与热交换器进口之间，用于控制第一管路内气体的流量；浮球流量计设置在第一流量计与热交换器进口之间，用于显示第一流量计与热交换器之间是否具有气体；真空泵一端与第一管路的第一区域通过第二管路连通，第二端与外部连通，以用于将第一管路中的气体排空。
主权项：1.一种气体循环装置，其特征在于，包括：热交换器，所述热交换器具有进口和出口，所述出口与所述进口通过第一管路连通；压缩机，所述压缩机设置在第一管路上，用于对气体进行压缩；冷却环，所述冷却环设置在所述第一管路上，且位于所述热交换器的出口与所述压缩机之间，用于对所述第一管路中的气体进行冷却降温；第一流量计，所述第一流量计设置在所述第一管路上，且位于所述压缩机与所述热交换器进口之间，用于控制所述第一管路内气体的流量；浮球流量计，所述浮球流量计设置在所述第一流量计与所述热交换器进口之间，用于显示所述第一流量计与所述热交换器之间是否具有气体；真空泵，所述真空泵一端与所述第一管路的第一区域通过第二管路连通，第二端与外部连通，以用于将所述第一管路中的气体排空；所述第一管路的第一区域为所述热交换器的出口与所述压缩机之间的区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京旭灿半导体科技有限公司 东旭科技集团有限公司 东旭集团有限公司 气体循环装置和晶体生长系统
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