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申请/专利权人：诚鑫茂(深圳)电子有限公司
摘要：本实用新型公开了一种具有限位功能的晶圆加工用分切装置，包括水平摆放的底座以及固定在底座上的竖隔板，且竖隔板的内壁通过螺栓固定有第一液压杆，并且第一液压杆的输出端和横板相连接；还包括：所述横板的下表面安装有第二液压杆，且第二液压杆的输出端和承载板相连接，并且承载板的下表面安装有第一电机，所述第一电机的输出端和转轴相连接，且转轴的底端安装有切割刀片。该具有限位功能的晶圆加工用分切装置，限位结构包括开设于放置盘上的放置槽和限位孔，且放置槽等角度分布，并且放置槽的深度小于放置盘的厚度，这样便于对晶圆进行快速摆放，通过放置槽对晶圆进行定位，可以实现对晶圆批量加工的目的。
主权项：1.一种具有限位功能的晶圆加工用分切装置，包括水平摆放的底座1以及固定在底座1上的竖隔板2，且竖隔板2的内壁通过螺栓固定有第一液压杆3，并且第一液压杆3的输出端和横板4相连接；其特征在于，还包括：所述横板4的下表面安装有第二液压杆5，且第二液压杆5的输出端和承载板6相连接，并且承载板6的下表面安装有第一电机7，所述第一电机7的输出端和转轴8相连接，且转轴8的底端安装有切割刀片9，通过切割刀片9对晶圆进行分切操作；所述底座1上还安装有第二电机10，且第二电机10的输出端和第一转杆11相连接，所述第一转杆11上设置有定向结构，用于对晶圆加工时的定角度旋转；所述切割刀片9的下方设置有放置盘15，可以通过放置盘15对晶圆的摆放，所述放置盘15上设置有限位结构，可以对晶圆进行固定防移位。
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权利要求：
百度查询： 诚鑫茂(深圳)电子有限公司 一种具有限位功能的晶圆加工用分切装置
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