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申请/专利权人：厦门大学
摘要：一种利用液态聚碳硅烷制备高导热氮化硅纳米粉体的方法，涉及高纯导热氮化硅粉体的制备。以液态聚碳硅烷为原料，在其中加入引发剂后进行常温雾化，将雾化液滴进行原位交联、高温氨化脱碳反应和高温热解无机化，再经过惰性气氛高温灭活和高温晶化，获得结晶度高、纯度高、一次粒径小的Si3N4纳米粉体。该粉体具有优异的导热性能，可用于制备新一代高功率芯片的氮化硅散热基板。工艺简单、产物纯净，可设计性强，陶瓷产率高，成本低，具有工程化应用的价值。
主权项：1.一种利用液态聚碳硅烷制备高导热氮化硅纳米粉体的方法，其特征在于包括以下步骤：1在LPCS中加入引发剂，得到LPCS混合溶液；2利用雾化器将LPCS混合溶液进行常温雾化，得到LPCS雾滴；3将LPCS雾滴在惰性气氛下进行原位自交联，得到交联粉体；4将交联粉体在氨气气氛中高温脱碳氨化，得到硅氮烷纳米粉体；5将硅氮烷纳米粉体继续在氨气中进行高温热解，获得高活性的非晶态Si3N4纳米粉体；6将高活性的非晶态Si3N4纳米粉体在惰性气氛中进行高温灭活热处理，得到稳定的非晶态Si3N4纳米粉体；7将稳定的非晶态Si3N4纳米粉体在惰性气氛中进行高温晶化处理，得到高纯的晶态Si3N4纳米粉体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 厦门大学 一种利用液态聚碳硅烷制备高导热氮化硅纳米粉体的方法
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