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申请/专利权人：郑州大学
摘要：本发明公开了利用ITO废靶制备铟锡合金的方法、装置，包括：底部贯穿开设有多个通孔的反应坩埚，用于氢还原ITO废靶制备铟锡合金；开设有进气孔的接收坩埚，可拆卸地连接在反应坩埚的底部，通过多个通孔与反应坩埚的内部容腔连通，用于收集制备得到的铟锡合金；套设在反应坩埚的外表面的加热套，用于加热反应坩埚；设置与进气孔连接的供气组件，用于提供氢气；盖设在反应坩埚的顶部的盖板；盖板上开设有出气孔，用于排出氢还原产生的水蒸汽。氢气从接收坩埚中穿过通孔向上流动，与反应坩埚中的ITO废靶块的底部接触反应，ITO废靶块的底部反应融出并露出未反应的部分与氢气继续反应，生成的液态铟锡合金从反应坩埚底部的通孔向下滴落收集至接收坩埚中。
主权项：1.利用ITO废靶制备铟锡合金的装置，其特征在于，包括：反应坩埚，所述反应坩埚的底部贯穿开设有多个通孔；所述反应坩埚用于氢还原ITO废靶制备铟锡合金；接收坩埚，所述接收坩埚上开设有进气孔；所述接收坩埚可拆卸地连接在所述反应坩埚的底部，通过多个所述通孔与所述反应坩埚的内部容腔连通；所述接收坩埚用于收集制备得到的铟锡合金；加热套，套设在所述反应坩埚的外表面，用于加热所述反应坩埚；供气组件，设置与所述接收坩埚的进气孔连接，用于提供氢气；盖板，盖设在所述反应坩埚的顶部；所述盖板上开设有出气孔，用于排出氢还原反应产生的水蒸汽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 郑州大学 利用ITO废靶制备铟锡合金的方法、装置
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