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申请/专利权人：瑞声科技(新加坡)有限公司
摘要：本发明提供了惯性传感器及制备方法。制备的惯性传感器包括基体结构和间隔设置于基体结构的一侧的可移动惯性结构，基体结构包括基层、附着于基层的靠近可移动惯性结构的一侧的电路层以及设置于电路层的阻挡结构，阻挡结构采用绝缘材料，电路层具有在厚度方向上贯通的多个孔槽，阻挡结构包括多个连接于电路层且突出于电路层背离基层的表面的凸块，孔槽由凸块一一嵌入封堵。该惯性传感器具有不易发生粘滞、结构稳定、对基体结构和可移动惯性结构的最小尺寸限制小的优点，有利于提升惯性传感器的最终性能。
主权项：1.一种惯性传感器，包括基体结构和间隔设置于所述基体结构的一侧的可移动惯性结构，其特征在于，所述基体结构包括基层、附着于所述基层的靠近所述可移动惯性结构的一侧的电路层以及设置于所述电路层的阻挡结构，所述阻挡结构采用绝缘材料，所述电路层具有在厚度方向上贯通的多个孔槽，所述阻挡结构包括多个连接于所述电路层且突出于所述电路层背离所述基层的表面的凸块，所述孔槽由所述凸块一一嵌入封堵。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 瑞声科技(新加坡)有限公司 惯性传感器及制备方法
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