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申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
摘要：本公开实施例涉及一种化学清洗液的检测方法。该方法包括：提供基底；使用化学清洗液清洗所述基底；于基底表面形成叠层结构，所述叠层结构包括自下而上依次叠置的介电层、导电层；测试叠层结构的电参数；根据电参数判定化学清洗液中是否存在金属污染。该检测方法不需要破坏基底，操作简单，测试成本低，易于自动化。
主权项：1.一种化学清洗液的检测方法，其特征在于，包括：提供基底；使用所述化学清洗液清洗所述基底；于所述基底表面形成叠层结构，所述叠层结构包括自下而上依次叠置的介电层、导电层；测试所述叠层结构的电参数；根据所述电参数判定所述化学清洗液中是否存在金属污染。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 化学清洗液的检测方法
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