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申请/专利权人：厦门大学
摘要：利用可熔融固态聚碳硅烷制备高导热氮化硅纳米粉体的装置及方法，涉及高热导率基板。以可熔融固态聚碳硅烷为原料，将其熔融后进行高温雾化，将雾化液滴在雾化‑交联塔中进行原位化学气相交联固化，交联固化后的粉体转移至流化‑热处理炉中，利用流化床形成气固流体后进行高温氨化脱碳和热解无机化，再经过惰性气氛炉中高温晶化，获得结晶度高、纯度高、一次粒径小的Si3N4纳米粉体，该粉体烧结制备的氮化硅陶瓷具有优异的导热性能和力学性能，可用于制备新一代高功率芯片的氮化硅散热基板。
主权项：1.利用可熔融固态聚碳硅烷制备高导热氮化硅纳米粉体的装置，其特征在于包括将PCS雾化并交联的PCS雾化-交联塔、将PCS交联粉体转化为成氮化硅粉体的流化-热处理炉、氮化硅粉体收集器、气体回热管和尾气冷却器；所述PCS雾化-交联塔安装在流化-热处理炉上方，PCS雾化-交联塔用于将PCS雾化并交联形成PCS交联粉体；PCS交联粉体直接掉落进流化-热处理炉中，流化-热处理炉将流化装置与热处理装置结合，用于将PCS交联粉体转化为成氮化硅粉体；所述流化-热处理炉采用逐渐升温的三个加热炉构成流化-热处理炉的三个加热段，用于多段流化热处理；经过多段流化热处理后的最终晶态氮化硅粉体，由流化-热处理炉第三段的流出口流出至所述氮化硅粉体收集器；流化-热处理炉设有炉顶盖，三段的尾气在炉顶盖汇合；气体回热管位于流化-热处理炉的炉顶盖内部，气体回热管用于利用尾气的热量可对氨气-氮气混合气和氮气进行预热；尾气冷却器用于冷却流化-热处理炉排出的尾气，冷却后的尾气排空处理。
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百度查询： 厦门大学 利用可熔融固态聚碳硅烷制备高导热氮化硅纳米粉体的装置及方法
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