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申请/专利权人：新沂市中鑫光电科技有限公司
摘要：本发明涉及石英坩埚制备技术领域，具体为一种石英坩埚的制备方法。一种石英坩埚的制备方法，包括以下步骤：SS01、布模，将外模具和内模具布设于石英坩埚的制备装置中，并使得外模具和内模具形成石英坩埚的成型模腔；SS02、注料，SS01步骤后，向成型模腔中注入定量的石英砂料，石英砂料注入后，使得成型模腔的内部维持为设定真空度；SS03、熔制成型，SS02步骤后，石英坩埚的制备装置对成型模腔内的石英砂料熔制成型，熔制成型后，继而制得石英坩埚原始体。本发明的有益效果是：本发明通过内模具和外模具的旋向相反旋速相异设置，从而有效提高石英坩埚熔制时的内外壁规整度，并提高石英坩埚熔制后的内外壁圆度。
主权项：1.一种石英坩埚的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：SS01、布模，将外模具7和内模具17布设于石英坩埚的制备装置中，并使得外模具7和内模具17形成石英坩埚的成型模腔；SS02、注料，SS01步骤后，向成型模腔中注入定量的石英砂料，石英砂料注入后，使得成型模腔的内部维持为设定真空度；SS03、熔制成型，SS02步骤后，石英坩埚的制备装置对成型模腔内的石英砂料熔制成型，熔制成型后，继而制得石英坩埚原始体；SS04、喷涂，在石英坩埚原始体的内壁均匀喷涂钡涂层，继而制得一种石英坩埚；所述石英坩埚的制备装置包括机架1，所述机架1上转动连接有通过第一电机2驱动的导动轴杆3，所述机架1上安装有第一丝杆升降模块4，所述第一丝杆升降模块4上传动连接有升降台5，所述升降台5的表面安装有通过导动轴杆3驱动的导振模组，所述导振模组上传动连接有外筒体6，所述外筒体6的内壁转动连接有通过导动轴杆3驱动的外模具7，所述外模具7的底部安装有顶料机构，所述机架1上安装有电动旋转台8，所述电动旋转台8上安装有旋框9，所述旋框9上安装有第二丝杆升降模块10，所述第二丝杆升降模块10上传动连接有升降架11，所述升降架11上分别安装有内模部件和下料及喷涂部件。
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