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申请/专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
摘要：本申请提供了一种金属氧化物材料刻蚀方法，该方法包括：在反应腔室内提供待刻蚀金属氧化物材料；利用还原性气体电离产生的第一等离子体，处理待刻蚀金属氧化物材料，以形成金属改性层；利用原子层沉积蚀刻气体电离产生的第二等离子体，刻蚀金属改性层和待刻蚀金属氧化物材料，以得到刻蚀后结构。从而本申请通过形成还原金属改性层，原子层刻蚀金属改性层，能够将刻蚀精确控制到数个原子层的厚度，仅对改性层进行选择性的去除，并将下面延迟未经改性的材料暴露出来，以此达到了刻蚀暴露表面的损伤控制，及电学性能的大幅提升。
主权项：1.一种金属氧化物材料刻蚀方法，其特征在于，包括：在反应腔室内提供待刻蚀金属氧化物材料；利用还原性气体电离产生的第一等离子体，处理所述待刻蚀金属氧化物材料，以形成金属改性层；利用原子层沉积蚀刻气体电离产生的第二等离子体，刻蚀所述金属改性层，以得到刻蚀后结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏鲁汶仪器股份有限公司 一种金属氧化物材料刻蚀方法
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