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申请/专利权人：苏州晶拓半导体科技有限公司
摘要：本实用新型提供一种臭氧发生系统，该臭氧发生系统包括原料气模块、添加气模块、臭氧发生模块和控制模块，通过设置添加气模块，并在连接添加气模块和臭氧发生器的添加气进气管上设置第二流量控制件和第二流量监测件、在连接原料气模块和臭氧发生器的原料气进气管上设置第一流量控制件和第一流量监测件，便于对进入臭氧发生器的原料气和添加气的流量比例进行控制，从而保证臭氧生产的速率和量；通过在原料气中加入微量添加气，能够增加臭氧发生器中气体的稳定性，减少不希望的反应或副产物的生产，从而提高臭氧发生器的稳定性，还可以减少臭氧发生器内部的气体分子碰撞，使得臭氧生成的过程更有效率，从而改善能量效率。
主权项：1.一种臭氧发生系统，其特征在于，包括：原料气模块，所述原料气模块用于提供原料气；添加气模块，所述添加气模块用于提供添加气，所述添加气为氦气或氖气或氩气；臭氧发生模块，所述臭氧发生模块包括臭氧发生器、原料气进气管、添加气进气管和臭氧出气管，所述臭氧发生器通过所述原料气进气管与所述原料气模块连接，所述原料气进气管上设有第一流量控制件，所述原料气进气管上位于所述第一流量控制件靠近所述臭氧发生器一侧的位置设有第一流量监测件，所述臭氧发生器通过所述添加气进气管和所述添加气模块连接，所述添加气进气管上设有第二流量控制件，所述添加气进气管上位于所述第二流量控制件靠近所述臭氧发生器一侧的位置设有第二流量监测件，所述臭氧出气管与所述臭氧发生器连接；以及控制模块，所述控制模块的输出端与所述原料气模块、所述添加气模块、所述臭氧发生器均电性连接，所述控制模块的输入端与所述第一流量监测件、所述第二流量监测件均电性连接，所述控制模块的输出端与所述第一流量控制件、所述第二流量控制件均电性连接；使用状态下，所述控制模块通过所述第一流量控制件、所述第二流量控制件控制进入所述臭氧发生器的添加气和原料气的流量比为0.1：999.9-10:990。
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百度查询： 苏州晶拓半导体科技有限公司 臭氧发生系统
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