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申请/专利权人：湖北五方晶体有限公司
摘要：本发明涉及晶圆加工处理技术领域，公开了一种晶圆清洗甩干治具，通过在转动板安装三个支撑框架，并在每一个支撑框架均堆叠设置多个晶圆安装机构的设计，且每一个安装机构上均可放置多片晶圆，实现一次同时对较多的晶圆进行甩干操作，在很大程度上提高了晶圆甩干处理的效率；通过下压定位组件配合支撑组件的设计，晶圆的侧边卡合在支撑组件中支撑板的缺槽内，盖上上网框时，晶圆的顶部卡进压板底部的凹槽内，实现对晶圆的高效定位，避免晶圆在甩干过程中晃动，并与治具发生磕碰，降低了晶圆损坏的风险；通过内齿环与外齿环的啮合设计，在驱动多个晶圆治具公转的同时，可实现晶圆治具的自转，且公转与自转的方向相反，提高了晶圆的甩干效果。
主权项：1.一种晶圆清洗甩干治具，其特征在于，包括：甩干桶100；以甩干桶100的轴心为中心转动设置在甩干桶100内部的多组晶圆治具200；所述晶圆治具200的外侧安装有固定环5，所述固定环5的外圈固定设置有外齿环6，所述甩干桶100的内壁安装有内齿环4，所述内齿环4与外齿环6啮合；所述晶圆治具200包括支撑框架1、堆叠设置在支撑框架1内部的多组用于承载晶圆的安装机构2；所述安装机构2包括下网框25、转动安装在下网框25一侧上端的上网框21，所述下网框25的内部安装有多组呈环形等距设置的支撑组件27，所述上网框21的顶部安装有压合在晶圆顶部的下压定位组件24，所述上网框21上安装有用于锁紧上网框21与下网框25的锁紧组件26。
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百度查询： 湖北五方晶体有限公司 一种晶圆清洗甩干治具
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