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申请/专利权人：FHR设备制造有限公司
摘要：本发明公开了一种由用于隔离真空设备中的涂覆源的活门构成的活门系统以及一种借助根据本发明的活门系统执行的方法，其中，活门构造为可在涂覆源的前方移动。本发明的目的是，提供一种用于活门系统的布置结构，借助该活门系统能够最佳地隔离涂覆源，以便完全阻止交叉污染和在待涂覆的衬底上的不期望的涂覆，该目的通过一种活门系统来实现，其中，该活门能够借助旋转运动和或枢转运动和或翻转倾斜运动定位在涂覆源上方，并且该活门构造成实施相对于该涂覆源的附加的相对运动，和或该涂覆源构造成实施相对于该活门的附加的相对运动，其中，该活门密封地且无间隙地覆盖涂覆源。
主权项：1.一种活门系统，由用于隔离真空设备中的涂覆源1的活门2构成，其中，所述活门2构造成能够在所述涂覆源1的前方移动，其特征在于，所述活门2能够借助旋转和或枢转和或翻转倾斜运动5在所述涂覆源1上方进行定位，并且所述活门2构造成相对于所述涂覆源1实施附加的相对运动4，和或所述涂覆源1构造成相对于所述活门2实施附加的相对运动4，其中，所述活门2密封地且无间隙地覆盖所述涂覆源1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FHR设备制造有限公司 用于无间隙地隔离涂覆源的活门系统及相关方法
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