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申请/专利权人：上海征世科技股份有限公司

摘要：本发明公开了一种单晶金刚石生产设备用控温散热装置，控温散热装置包括柜体、控制系统、微波发生器、反应室、密封基板，控制系统与柜体紧固连接，微波发生器与柜体紧固连接，微波发生器与控制系统电连接，反应室与微波发生器的输出端连通，密封基板与反应室抵接，密封基板上设有沉积台，密封基板下方设有电动推杆，电动推杆与柜体紧固连接，柜体内设有散热系统，柜体为本装置的安装基础，为各组件提供稳定的工作环境，控制系统用于调控各组件的工作状态，散热系统用于控制金刚石生产过程中的温度，将温度控制在适合的区间。

主权项：1.一种单晶金刚石生产设备用控温散热装置，其特征在于：所述控温散热装置包括柜体（1）、控制系统（2）、微波发生器（3）、反应室（4）、密封基板（5），所述控制系统（2）与柜体（1）紧固连接，所述微波发生器（3）与柜体（1）紧固连接，微波发生器（3）与控制系统（2）电连接，所述反应室（4）与微波发生器（3）的输出端连通，所述密封基板（5）与反应室（4）抵接，密封基板（5）上设有沉积台（6），密封基板（5）下方设有电动推杆（7），所述电动推杆（7）与柜体（1）紧固连接，所述柜体（1）内设有散热系统（8）；所述散热系统（8）包括水泵（81）、热交换器（82），所述水泵（81）与柜体（1）紧固连接，所述热交换器（82）与柜体（1）紧固连接，热交换器（82）的出水端与水泵（81）的进水端连通，所述水泵（81）的出水端连通有进水管（83），所述进水管（83）的出口连通有冷却管（85），所述冷却管（85）位于沉积台（6）内，冷却管（85）的出口连通有出水管（84），所述出水管（84）的出口与热交换器（82）连通；所述冷却管（85）沿沉积台（6）环形布置若干组，若干所述冷却管（85）上设有调节组件（86）；所述调节组件（86）包括连接罩（861）、活动块（862）、转动轴（863）、滑动轴（864），所述连接罩（861）与冷却管（85）连通，所述活动块（862）位于连接罩（861）内，所述转动轴（863）与活动块（862）紧固连接，转动轴（863）与连接罩（861）转动连接，所述连接罩（861）上设有弧形槽（8611），所述滑动轴（864）与弧形槽（8611）滑动连接，滑动轴（864）与活动块（862）紧固连接，所述弧形槽（8611）内设有复位弹簧（865），所述复位弹簧（865）与滑动轴（864）抵接；所述活动块（862）呈流线型，活动块（862）在连接罩（861）内布置有若干组；若干所述活动块（862）内设有传热腔（8621），所述传热腔（8621）内设有气囊（867），所述气囊（867）上方设有弹性膜（868），气囊（867）与弹性膜（868）的底面抵接，所述弹性膜（868）与活动块（862）紧固连接，弹性膜（868）位于活动块（862）靠近连接罩（861）内壁的一侧。

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